262. PTB-Seminar

EUV Metrology - Messmöglichkeiten der Metrology Light Source der PTB

Im Sommer dieses Jahres wurde das neue EUV-Strahlrohr an dem Elektronenspeicherring Metrology Light Source in Betrieb genommen. Aus diesem Anlass führt die Arbeitsgruppe „EUV-Radiometrie“ ein PTB-Seminar zur EUV-Metrologie durch. Ziel der Veranstaltung ist, den zahlreichen Kooperationspartnern der PTB aus der Grundlagenforschung und der Industrie die Messmöglichkeiten im EUV-Bereich an dem neuen Strahlrohr vorzustellen und den fachlichen Austausch zu fördern.

Das Seminar ist offen für alle interessierten Wissenschaftler und Ingenieure aus dem Bereich der EUV-Messtechnik. Die Durchführung wird von den Industriepartnern ASML, BESTEC, Bruker und Carl Zeiss SMT sowie dem Helmholtz-Fonds e. V. unterstützt.

 

Date: 27. October 2011 to 28. October 2011
Location: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin Contact : Dr. Frank Scholze