Verglichen mit dem Lichtmikroskop erreicht ein Elektronenmikroskop eine erheblich höhere Lateralauflösung, da die Wellenlänge der zur Abbildung benutzten Elektronen (die eine Energie von einigen 10 keV haben) nur ein 100 000-stel der Lichtwellenlänge beträgt. Hingegen waren die Elektronenmikroskope bei der Tiefenauflösung den Lichtmikroskopen lange Zeit klar unterlegen. Das änderte sich, als mit Hilfe von interferierenden Elektronenwellen auf Oberflächen Unebenheiten und Strukturen sichtbar gemacht werden konnten, deren Höhe kleiner als 1 Nanometer war. Den Durchbruch auf diesem Gebiet hat Dr. Hannes Lichte mit dem Aufbau eines Interferenzmikroskops für Elektronenwellen geschafft. Für seine Arbeit „Ein Elektronen-Auflicht- Interferenzmikroskop zur Präzisionsmessung von Unebenheiten und Potentialunterschieden auf Oberflächen“ erhielt er den Helmholtz-Preis 1977.
Lichtes Elektronen-Interferenzmikroskop arbeitete nach dem Prinzip des lichtoptischen Michelson-Interferometers. In diesem zerlegt ein Strahlteiler die von einer Lichtquelle kommenden Lichtwellen in zwei Teilwellen, die jeweils von einem Spiegel reflektiert werden und anschließend wieder zusammenkommen und interferieren. Ist der eine Spiegel eine glatte Referenzfläche, der andere hingegen uneben, so kann man aus der Form und Verschiebung der auftretenden Interferenzstreifen die Ausdehnung und Höhe der Unebenheiten ermitteln. Beim Elektronen-Interferenzmikroskop wurden die von einer Quelle kommenden Elektronenwellen durch ein Biprisma in zwei Teilwellen zerlegt.
Das von Gottfried Möllenstedt und Heinrich Düker 1954 entwickelte elektronenoptisches Biprisma bestand aus einem metallisierten Quarzfaden von 1 Mikrometer Dicke, der gespannt wurde und ein negatives elektrostatisches Potential hatte. Ein Umlenkmagnet lenkte die beiden Teilwellen rechtwinklig ab auf einen Elektronenspiegel, wo sie auf zwei unterschiedliche Bereiche trafen, die den beiden Interferometerspiegeln entsprachen. Das negative Potential des Elektronenspiegels sorgte dafür, dass sich ihm die Elektronenwellen nur auf etwa 200 nm annäherten, bevor sie umkehrten. Dann durchliefen sie erneut den Umlenkmagneten und trafen auf ein zweites Biprisma, das ein positives Potential hatte und die beiden Teilwellen zusammenführte, sodass sie interferierten. Dabei zeigte es sich, dass Höhenunterschiede von atomarer Größenordnung die Phase der Elektronenwellen um 2π verschieben. Mit diesem Elektronenmikroskop konnte Lichte Oberflächenunebenheiten mit einer Höhe von weniger als 0,1 nm sichtbar machen und ausmessen. Auch Potentialunterschiede in einer Oberfläche ließen sich mit einer Genauigkeit von weniger als 1 mV bestimmen.