273. PTB-Seminar

VUV and EUV Metrology

Unter der Schirmherrschaft des Helmholtz-Fonds e. V. findet am 24. und am 25. Oktober 2013 das 273. PTB-Seminar "VUV and EUV Metrology" in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) in Berlin statt. Ziel des Seminares ist es, mit den Kooperationspartnern der PTB im Bereich VUV und EUV Metrologie im Gespräch zu bleiben. Jedoch soll diesmal gegenüber dem inhaltlich ähnlichen 262. PTB-Seminar (2011) auch der Bereich des VUV stärker mit einbezogen werden.

Datum: 24. Oktober 2013 bis 25. Oktober 2013
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin Kontakt : Dr. Frank Scholze