313. PTB-Seminar

VUV and EUV Metrology

The seminar, the fifth in a series launched in 2011, is a forum for interdisciplinary exchange between basic and technology-oriented researchers and industrial users. The topics cover latest results from industrial applications of EUV radiation for lithography and measurement technology to developmens for space-based VUV and EUV spectroscopy and the investigation of nano-structured surfaces.

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Further information

Datum: 22. Oktober 2019 bis 23. Oktober 2019
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin
Kontakt : Dr. Frank Scholze

Mess- und Kalibrierergebnisse sind nur dann vollständig, wenn ihnen eine Messunsicherheit beigeordnet wird. Als wichtigste Grundlage hierzu für Laboratorien dient der Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement (GUM). Das Seminar hat zum Ziel, die Anwendung des GUM sowie seiner Supplemente fachübergreifend zu fördern, und ein besseres Verständnis der Methoden zur Auswertung von Messunsicherheiten sowie deren Anwendbarkeit zu vermitteln. Der Deutsche Kalibrierdienst (DKD) – ein technisches Gremium der PTB – bietet in Kooperation mit der Arbeitsgruppe Datenanalyse und Messunsicherheit...

Datum: 29. Januar 2019
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin
Kontakt : Dr. Martin Czaske