290. PTB-Seminar

VUV and EUV Metrology

Am 5. und 6. November 2015 findet im Hermann-von-Helmholtz-Bau das 290. PTB Seminar "VUV and EUV Metrology" statt. Auch dieses inzwischen dritte Seminar, der im Jahr 2011 gestarteten Reihe zu diesem Thema, ist wieder ein Forum für interdisziplinären Austausch unter den mehr als 115 Teilnehmern. In 26 Vorträgen und einer Postersitzung werden unter anderem neueste Ergebnisse bei der industriellen Anwendung von EUV-Strahlung für die Lithographie und Messtechnik vorgestellt, sowie Entwicklungen für die weltraumgestützte VUV-Spektrometrie. Die Durchführung wird von zahlreichen Industrieunternehmen sowie dem Helmholtz-Fonds e. V. unterstützt.

Datum: 05. November 2015 bis 06. November 2015
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin Kontakt : Dr. Frank Scholze