313. PTB-Seminar

VUV and EUV Metrology

The seminar, the fifth in a series launched in 2011, is a forum for interdisciplinary exchange between basic and technology-oriented researchers and industrial users. The topics cover latest results from industrial applications of EUV radiation for lithography and measurement technology to developmens for space-based VUV and EUV spectroscopy and the investigation of nano-structured surfaces.

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Further information

Datum: 22. Oktober 2019 bis 23. Oktober 2019
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Berlin
Kontakt : Dr. Frank Scholze

Es kommen wiederholt Fragen zur Berechnung der Messunsicherheit von Durchflusskalibrieranlagen auf, auch mit Blick auf eine anschließende Akkreditierung der Anlagen durch die DAkkS. Ähnlich verhält es sich bzgl. Ringvergleichen und damit verbundenen Anforderungen. Im Rahmen des Workshops werden der aktuelle Stand der Technik und international abgestimmte Anforderungen und Vorgehensweisen zur Erstellung von Messunsicherheitsbudgets sowie zur Durchführung und Auswertung von Vergleichsmessungen vorgestellt werden.

Datum: 22. Oktober 2019, H:i bis 24. Oktober 2019, H:i
Zeit: 10:46 bis 10:47
Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Braunschweig
Kontakt : Dr. Corinna Kroner